一、集成電路覆銅板用硅微粉簡介

集成電路是指采用半導(dǎo)體制造工藝，把電阻、電容、電感、二極管及晶體管等元件及布線互連在一個(gè)電路中，實(shí)現(xiàn)元件與電路系統(tǒng)結(jié)合的一種微型電子器件或部件。具有體積小、安裝方便、可靠性高、專用性強(qiáng)以及元器件的性能參數(shù)比較一致等優(yōu)點(diǎn)，已被廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、通訊電子以及軍事通信等各種領(lǐng)域。

覆銅板（英文簡稱：CCL）作為集成電路的主要載體，在集成電路中充當(dāng)工業(yè)基礎(chǔ)材料。覆銅板是以增強(qiáng)材料浸漬不同性能的樹脂，添加不同的填料（比如硅微粉）經(jīng)干燥后在一面或兩面覆以銅箔，經(jīng)過熱壓而成的板狀材料。主要由基板、銅箔和覆銅板粘合劑三大部分構(gòu)成，其中基板是由高分子合成樹脂、增強(qiáng)材料和填料組成的絕緣層壓板。

覆銅板雙面板

覆銅板行業(yè)應(yīng)用的無機(jī)填料有很多種，如滑石、氫氧化鋁、氧化鋁、硅微粉等，覆銅板廠家主要根據(jù)覆銅板的性能來選擇相應(yīng)的填料。目前產(chǎn)量較大的FR-4覆銅板主要采用硅微粉作為填料。

覆銅板試樣制備流程

硅微粉是由石英加工而成的粉體。石英屬于三方晶系，具有正六面體結(jié)構(gòu)，折光率1.54-1.55，莫氏硬度7左右，密度2.65g/cm3，熔點(diǎn)1750℃。具有以下優(yōu)良的性能：高絕緣性、高熱傳導(dǎo)性、高熱穩(wěn)定性；耐酸堿性（HF除外）、耐磨性低的熱膨脹系數(shù)（14*10-6/k）、低介電常數(shù)（約Dk=4.6,1MHZ）等，因此在覆銅板行業(yè)應(yīng)用日趨廣泛。

隨著近些年來專家們對(duì)二氧化硅表面近些改性處理，極大地改善了它與樹脂體系的相容性，所以硅微粉作為一種填料應(yīng)用到覆銅板中，不但可降低成本，還能改進(jìn)覆銅板的某些性能（如熱膨脹系數(shù)，彎曲強(qiáng)度、尺寸穩(wěn)定性等），是真正的功能性填料。

二、覆銅板用硅微粉的種類

硅微粉產(chǎn)品系列比較復(fù)雜，應(yīng)用十分廣泛。目前應(yīng)用于集成電路覆銅板的硅微粉主要有結(jié)晶型硅微粉、熔融型硅微粉、球形硅微粉、復(fù)合硅微粉、活性硅微粉等五個(gè)品種。

1、結(jié)晶型硅微粉

即精選優(yōu)質(zhì)石英礦，經(jīng)洗礦、破碎、磁選、超細(xì)碎、分級(jí)等工藝加工而成的石英粉。結(jié)晶型硅微粉在覆銅板行業(yè)中的應(yīng)用在國外起步較早，國內(nèi)硅微粉廠家在2007年前后具備此種粉體的生產(chǎn)能力。使用結(jié)晶硅微粉后，覆銅板的的剛度、熱穩(wěn)定性和吸水率都有較大幅度的改善，隨著覆銅板市場(chǎng)的快速發(fā)展，結(jié)晶硅微粉的產(chǎn)量和質(zhì)量都有了較大幅度的提高。

其主要缺點(diǎn)是：對(duì)樹脂體系的影響不是很大的，分散性和耐沉降性不如熔融球形硅微粉、耐沖擊性比不上熔融透明硅微粉，熱膨脹系數(shù)很高，且硬度大，加工困難。

2、熔融硅微粉

即精選具有優(yōu)質(zhì)晶體結(jié)構(gòu)的石英原料，經(jīng)酸浸、水洗、風(fēng)干、再經(jīng)高溫熔融、破碎、人工分揀，磁選、超細(xì)碎、分級(jí)等工藝精制而成的硅微粉。相比結(jié)晶型硅微粉，它具有更低的密度（2.2g/cm3），更低的介電常數(shù)，更低的熱膨脹系數(shù)（0.5×10-6/K），該種粉體主要在高頻覆銅板中作為填料使用。
其主要缺點(diǎn)是：熔融溫度較高，對(duì)于企業(yè)生產(chǎn)能力要求較高，工藝復(fù)雜，生產(chǎn)成本較高，一般產(chǎn)品介電常數(shù)過高，影響信號(hào)傳遞速度。

3、復(fù)合型硅微粉

又稱低硬度硅微粉。采用數(shù)種無機(jī)礦物經(jīng)精確配比熔制成無定型態(tài)玻璃體，經(jīng)破碎、磁選、超細(xì)碎、分級(jí)等工藝加工而成的硅微粉。此種粉體莫氏硬度在5.5左右，二氧化硅的成份被大大降低，化學(xué)成份的改變，可以有效降低硅微粉硬度，減小鉆頭在鉆孔制程中的磨損，減小鉆孔過程中的粉塵污染。

4、球形硅微粉

三種類型的二氧化硅主要應(yīng)用性能對(duì)比

球形硅微粉在覆銅板行業(yè)的主要應(yīng)用領(lǐng)域

球形二氧化硅的制備方法有：高頻等離子體法、直流等離子體法、碳極電弧法、氣體燃燒火焰法、高溫熔融噴霧造粒法以及化學(xué)合成法等，其中具有工業(yè)化應(yīng)用前景的制備方法是氣體燃燒火焰法。目前我國能夠生產(chǎn)高純球形二氧化硅、亞微米級(jí)球形二氧化硅的企業(yè)數(shù)量很少，主要分布于江蘇連云港、安徽蚌埠、浙江湖州等地區(qū)。

等離子體設(shè)備示意圖

火焰熔融法

覆銅板使用的球形二氧化硅采用氣體燃燒火焰法生產(chǎn)，由于其表面性質(zhì)特殊，在后續(xù)應(yīng)用時(shí)與有機(jī)體系的相容性差，難于均勻分散于有機(jī)體系中，嚴(yán)重影響其應(yīng)用效果，需要對(duì)球形二氧化硅產(chǎn)品進(jìn)行應(yīng)用技術(shù)研究。球形二氧化硅的應(yīng)用技術(shù)主要包括：分散技術(shù)、表面處理技術(shù)和復(fù)配技術(shù)。

5、活性硅微粉

即向硅微粉添加適量偶聯(lián)劑，在適當(dāng)?shù)臏囟认赂男远傻墓栉⒎邸４朔N粉添加在樹脂中具有很低的粘度，和樹脂的結(jié)合性能強(qiáng)，做成的板材具有很好的抗剝離強(qiáng)度，優(yōu)異的耐高溫性能，同時(shí)還可以改善鉆孔性能。

其主要缺點(diǎn)是：目前覆銅板廠家所采用的樹脂體系不盡相同，硅微粉生產(chǎn)廠商難以做到同一種產(chǎn)品適用所有用戶的樹脂體系，且覆銅板廠由于使用習(xí)慣，更愿意自己添加改性劑，因此活性硅微粉在覆銅板行業(yè)的推廣使用尚須時(shí)日。

三、硅微粉在覆銅板中的應(yīng)用趨勢(shì)

1、結(jié)晶型硅微粉朝著超細(xì)方向發(fā)展

目前，超細(xì)結(jié)晶硅微粉填料在覆銅板上使用的粒徑大體在2～3微米（5000目左右），隨著印制電路板基板材料向著超薄化、大型化方向發(fā)展，對(duì)覆銅板填料要求具有更小的粒度和更好的散熱性。

現(xiàn)在一些生產(chǎn)廠家已經(jīng)在覆銅板上采用粒徑在0.5～1微米左右（10000目左右）的超微細(xì)硅微粉填料。整體來看，憑借其具有良好的導(dǎo)熱作用和對(duì)生產(chǎn)工藝要求的簡單性，超細(xì)結(jié)晶型硅微粉將在未來具有廣泛的應(yīng)用前景。

2、快速發(fā)展的熔融硅微粉

隨著各類先進(jìn)通信技術(shù)的發(fā)展，多種高頻設(shè)備都已被廣泛應(yīng)用，其市場(chǎng)每年都以15-20%的速度增長，這必將在一定程度上帶動(dòng)熔融硅微粉市場(chǎng)的快速發(fā)展。

熔融硅微粉

3、穩(wěn)定的復(fù)合型硅微粉市場(chǎng)

目前國內(nèi)大多數(shù)覆銅板廠家已開始使用復(fù)合型硅微粉來代替結(jié)晶型硅微粉，并逐步提高使用比例，復(fù)合型硅微粉的市場(chǎng)已漸趨飽和。硅微粉廠家在提高產(chǎn)量的同時(shí)，也在不斷優(yōu)化產(chǎn)品指標(biāo)，為進(jìn)一步降低鉆頭磨損，開發(fā)更低硬度的填料將非常必要。

4、極具活力的高端球形粉市場(chǎng)

印制電路板基板材料正在朝著薄型化、小型化方向發(fā)展，目前許多便攜式電子產(chǎn)品包括電腦、手機(jī)、家用電器等都在不斷推進(jìn)它“輕、薄、小”和多功能的優(yōu)勢(shì)特征，對(duì)覆銅板材料也提出了層數(shù)更多、厚度更薄的質(zhì)量要求。
隨著電子產(chǎn)品向集成化、小型化方向的發(fā)展，未來覆銅板的比重將明顯提高。在良好的市場(chǎng)環(huán)境和現(xiàn)有的科技水平下更要求國內(nèi)硅微粉生產(chǎn)廠商能夠推出具有高純度、高流動(dòng)性、低微粒、低膨脹系數(shù)的高端球形硅微粉產(chǎn)品，因此未來球形硅微粉在覆銅板行業(yè)的應(yīng)用前景將具有極強(qiáng)的發(fā)展活力。

球形硅微粉

5、值得期待的活性硅微粉市場(chǎng)

采用活性硅微粉作填料可以使覆銅板的一些性能得到明顯改善，目前市場(chǎng)上已經(jīng)有硅微粉廠家在推出活性硅微粉產(chǎn)品，但使用效果較差。國外通常用十幾種偶聯(lián)劑對(duì)硅微粉進(jìn)行改性，國內(nèi)往往只用幾種，且粉體易產(chǎn)生團(tuán)聚，改性劑對(duì)粉體包裹分布不均勻，很難達(dá)到理想的改性效果。若想在覆銅板領(lǐng)域大量推廣使用活性粉，硅微粉廠家任重道遠(yuǎn)。

資料來源：

徐建棟，黃運(yùn)雷，硅微粉填料在覆銅板中應(yīng)用的展望

薛曉鵬，礦物原料制備集成電路覆銅板用復(fù)合硅微粉的試驗(yàn)研究

曹家凱，球形二氧化硅及其在覆銅板中的應(yīng)用

柴頌剛，劉潛發(fā)，曾耀德，等，球形二氧化硅在覆銅板中的應(yīng)用

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來源：中國粉體網(wǎng)